激光誘導擊穿光譜技術（Laser Induced Breakdown Spectroscopy，簡稱LIBS技術），是利用激光誘導待測材料表面產生等離子體的發射光譜定量測量樣品元素組分、力學參數等的測量技術，它能實現在高溫、高壓、高輻照環境下對材料元素組分等進行在線定量分析。

山東東儀光電儀器有限公司于2020年自主研發設計了一套成熟的遠程LIBS遙測系統，該系統可實現：

?? 激光器控制

調節脈沖能量、脈沖頻率，設置預剝蝕、積分脈沖次數等。

?? 光譜儀控制

光譜儀與激光器的同步、采集時間、延遲時間、控制不同類型光譜儀等。

?? 云臺控制

控制云臺方向、俯仰角度，實現樣品的掃描分析。

?? 測距及調焦控制

通過激光測量待測樣品的距離，激光聚焦系統與等離子體信號收集系統的電動位移平臺自動調節，到達最佳的分析位置。

?? 數據處理

根據光譜儀分辨率，進行自動尋峰功能，提供譜線干擾信息；內標線與分析線隨機組合，依據線性相關系數選擇最佳分析線對；推薦每一元素若干條特征分析譜線，根據推薦譜線進行定量分析；可以批量導入txt或excel文件，多張譜圖疊加，多塊CCD譜圖拼接功能。

利用該系統對某中低合金鋼套標樣品進行線性擬合及精密度實驗，得到數據如下圖所示。

研發部