ICP-AES又稱ICP-OES，即電感耦合等離子體發射光譜儀，測量的是光學光譜。

ICP-MS即電感耦合等離子體質譜儀，以等離子體(ICP)為源、以質譜儀作為檢測器，測量的是離子的質譜，提供在一定范圍內每一個原子質量單位(amu)的信息，因此，ICP-MS除了元素含量測定外，還可測量同位素。

ICP-AES(ICP-OES)和ICP-MS兩者用同樣的樣品前處理系統。前者用的是光譜檢測器，后者是用的質譜檢測器，質譜分析定性效果更好些。相比來說ICP-MS的檢測物質范圍更廣。且ICP-MS的檢出限低，其溶液的檢出限ICP-AES(ICP-OES)低很多，大部分元素能達到ppt級。

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